机械真空泵的分类：
真空泵是用各种办法在某一关闭空间中发生、改进和坚持真空的设备。真空泵能够界说为：运用机械、物理、化学 或物理化学的办法对被抽容器进行抽气而取得真空的器材或设备。跟着真
空运用的开展，真空泵的品种已开展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百 万升极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空规模。
因为真空运用部分所触及的作业压力的规模很宽，因而任何一品种型的真空泵都不也许彻底适用于一切的作业压力 规模，只能依据不一样的作业压力规模和不一样的作业请求，运用不一样类
型的真空泵。为了运用方便和各种真空技术进程的需求，有时将各种真空泵按其功能请求组合起 来，以机组型式运用。
但凡运用机械运动(滚动或滑动)以取得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其作业原理及构造特色分述如下：
变容真空泵它是运用泵腔容积的周期改变来完结吸气和排气以到达抽气意图的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 这种泵分为往复式及旋转式两种。
往复式真空泵运用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出又称为活塞式真空泵。
旋转式真空泵运用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。
它大致有如下几种分类：
油封式真空泵 它是运用真空泵油密封泵内各运动部件之间的空隙，削减泵内有害空间的一种旋改变容真空泵。这种泵一般带有气镇设备。 它首要包含旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式
真空泵、余摆线真空泵等。
液环真空泵 将带有多叶片的转子偏疼装在泵壳内当它旋转时，把作业液体抛向泵壳构成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片构成了容积周期改变的几个小的旋改变容吸排气腔。作业液体一般
为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
干式真空泵 它是一种泵内不必油类(或液体)密封的变容真空泵因为干式真空泵泵腔内不需求作业液体，因而，适用于半导体职业、化学工业、制药工业及食品职业等需求无油清洗真空环境的技
术场合。
罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均坚持必定的空隙。
动量传输泵：它依托高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体接连不断地从泵的进口传输到出口。这类泵可分为以下几种方式：
分子真空泵：它是运用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之取得定向速度，然后被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵这种泵具体可分为： 牵引分子泵气体分子与高速运动
的转子相碰撞而取得动量，被驱送到泵的出口。
涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和停止的定叶片相互配合来完成抽气的这种泵一般在分子流状态下作业。
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵机械真空泵是真空运用领域中运用得最遍及的一类泵，它是真空取得设备的首要组成部分其具体分类如图
1所示。
描绘机械真空泵功能的参量对机械真空泵的功能常用下列参量或其间的几个首要参量来阐明。
抽气速率(体积流率)(s；单位：m3s-1；Ls-1)当泵装有规范实验罩并按规则条件作业时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩上指定方位测得的平衡压力之比。 简称泵
的抽速。即在必定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。
极限压力（极限真空）（单位：Pa）泵装有规范实验罩并按规则条件作业，在不引进气体正常作业的情况下，趋向安稳的最低压力。 即真空泵的进口端通过充沛抽气后所能到达的最低的安稳
的压力起动压力：泵无损坏起动并有抽气效果的压力；前级压力排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力， 最大前级压力超过了能使泵损坏的前级压力。
最大作业压力：对应最大抽气量的进口压力在此压力下，泵能接连作业而不恶化或损抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）流经泵进口的气体流量。压缩比
