涡旋式无油机械真空泵
涡旋式无油机械真空泵是从涡旋式压缩机演化而来的一种新式的干式真空泵。
涡旋式无油机械真空泵的作业原理见图 31 构成涡旋式真空泵抽气用涡旋体的曲线为渐开线。
其构造型式见图 32 固定的涡旋体称定子，滚动的涡旋体称转子转子无自转而以必定的回转半径平动公转。
跟着转子的平动公转，在两个涡旋体之间形成了吸气腔和压缩腔吸入气 体后的作业腔的容积跟着转子的运动而减小，从外圈向基地移动排出气体，接连完成了吸气、压缩和排气进程。
为了减轻泵涡旋体的分量，其基材用铝，在表面上涂镀一层特别功能的聚四氟乙烯，以添加耐磨性和耐腐蚀性。
该泵涡旋体间相邻作业腔的压差小 , 故气体走漏量小 , 泵的驱动转矩改变小，因而泵的噪昔低、振荡小。
该泵特点是分量轻、体积小，为卧式构造，能够从大气压力下直接抽到 10-1Pa ，是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。
